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wayeal氦質譜檢漏儀故障及維修

日期:2022-11-01   瀏覽量:3116

氦質譜檢漏儀維修機械泵故障及處理


1.機械泵不動。


檢查項目包括:氦質譜泄漏檢測器電源電壓是否正常,開關是否打開,繞組是否斷路或接地,電機是否過熱(泵冷卻后是否可啟動)。


2.機械泵聲音異常。


檢查油位是否合適,油質是否變質,油溫是否變質。


氦質譜檢漏儀分子泵故障及處理。



1.TMP在儀器界面上顯示0,即分子泵不工作。


可能是前壓(分子泵啟動壓力為200Pa)可能導致分子泵無法啟動。檢查壓力過高的項目包括:真空管是否有問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統(tǒng)是否泄漏。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以用工具撥動葉片,以確定葉片是否可以旋轉。


2.分子泵加速指示燈不亮。


電路板上的保險絲燒壞,更換保險絲或檢查是否有短路。


3.分子泵故障燈亮。


檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,氦質譜泄漏檢測器分子泵的電源可能出現(xiàn)故障。


氦質譜檢漏儀質譜室故障及處理。


1.燈絲不能正常啟動。在確認機械泵。分子泵處于正常工作狀態(tài)后,如果燈絲仍不能發(fā)射離子流,則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座和接線柱是否開路。如果開路,需要更換燈絲。如果不開路,檢查接線柱是否與其他接頭連接,以消除短路。


2.底部信號處于混亂的波動狀態(tài),尺寸遠遠超過氦質譜泄漏檢測器故障本身的底部噪聲,需要考慮放大器是否故障。一般用戶無法解決質譜室的故障,只需定位故障并移交維修ZX。


氦質譜檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)故障。


1.檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)


檢查燈絲是否啟動。若燈絲未啟動或斷開,按檢漏鍵無反應。


2.檢漏鍵無效(指示燈不亮)


I/O短接插頭未插入氦質譜泄漏檢測器故障后面的插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面的插座,氦質譜泄漏檢測器將接受I/O口輸入信號遙控信號,檢漏鍵無效。


氦質譜檢漏儀自動校準結束時的故障。


自動校準失?。艚z亮)紅色校準燈亮。首先,檢查自動校準設置,開關S1是否處于OFF位置,設置的泄漏值是否與標準泄漏值一致。溫度傳感器是否連接;二是檢查靈敏度,清潔質譜室(如果外部校準泄漏檢查顯示值與實際值一致,也可使用氦質譜泄漏檢查儀)。


氦質譜檢漏儀檢漏故障。


1.檢漏口壓力不轉換為細檢方式。


2.靈敏度低。檢查三極規(guī)測量的壓力,等待質譜室壓力。


3.氦的底部太高了。檢查機械泵油是否失效(泵油長期變質會吸收更多氦,導致氦污染),檢查儀器系統(tǒng)是否泄漏,真空管道是否污染,三極規(guī)壓力是否達到10-6mpa,離子源是否污染。此外,還應注意環(huán)境污染問題。如果有多個氦質譜泄漏檢測器,氦的使用量大,通風不良,導致氦擴散緩慢,也會導致氦污染。解決方案是在泄漏檢測出口的排氣閥出口(通常通過大氣)安裝一個容量為幾升的氣瓶,與低壓氦管連接。這大大減少了環(huán)境氦污染。


4.工具設計不合理,導致泄漏檢測失敗。初步檢查工作正常,工作幾次后,抽樣速度大大減慢,泄漏檢測失?。患由虾べ|譜泄漏檢測器不泄漏,工作正常。這是由于工具設計不合理造成的,如工具結構不合理、內表面粗糙、氦殘留過多;或密封設計不合理(由于工具設計師不熟悉專業(yè)真空設計)。


5.操作不合理導致故障。例如,在工作中,有一個大泄漏工件,由于操作人員判斷錯誤,不認為工件泄漏,并檢查工具的連接或氦質譜泄漏檢測器,多次檢查工件泄漏。所以你會發(fā)現(xiàn)所有的工件都只是。原因是大泄漏工件經過多次泄漏檢測,大量氦進入質譜室,造成質譜室污染。解決辦法是清潔質譜室,反復吸氣和排氣。


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